{低温无油真空泵}科技创造未来品质成就

低温无油真空泵的无油低温真空机组,它用干100米3以下的容器无油抽气真空设备,压力范围在10～5-4×10-6帕之内。 为了从真空室里抽出≥87%的气体,便使用由液氮冷却的具有下列参数的低温无油真空泵:工作压强范围100-11.5仟帕;压强9.3仟帕;对空气的抽气速率从0.02改变到0.1米3/秒,这与低温泵工作状态直接相关;液氮的单位消耗量,包括低温泵冷却到工作温度的消耗量为6.2升/米3;抽出的气体的数量为100米3。 KΦ-3型双级氦低温泵对H2和 He的剩余气体具有抽气能力。(低温无油真空泵