作为增压泵的旋片式真空泵

目前，社会上旋片式真空泵所能够到达的技术，往往启动快，能够在短时间内达到非常高的真空。整体功率较小，可运转维护费用便非常低。而且，它在很宽的压力范围如：1000Pa～1Pa之前，能够有着很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵在1000Pa～1Pa时抽速都很小的缺陷。因此，它也是真空泵离非常适合作增压泵用的设备。