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ews center双级无油真空泵:一般粘性流态时泵的抽速比分子流态时的抽速高。选这种径向流抽气单元作为泵的低压段抽气。周向流抽气单元如图10 所示, 它可作为该泵的高压段抽气, 气体不断得到旋转叶轮给予的动量, 通过压缩, 压力能增加几倍。周向流抽气单元在粘性流态时有较高的压缩比, 比相同速度的径流抽气单元的压缩比高得多, 这种抽气单元仅在粘性流态时有高的压缩比, 在低于103Pa 的过渡流内, 其压缩比会随入口压力的下降而降低。而且这时比径向抽气单元的压缩比还低。周向流抽气单元的压缩比随叶轮的圆周速度增加而提高。叶轮达到音速时压缩比有值。故在粘性流范围选用这种周向流抽气单元。(双级无油真空泵
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